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Dieses Dokument legt Begriffe und Verfahren für die Charakterisierung von massenspektrometrischen Leckdetektoren (MSLD) fest. Es soll kein kompletter Satz von Spezifikationen für einen Abnahmetest angegeben werden, sondern es werden Vorgehensweisen beschrieben, die ohne spezielle Kalibrierausrüstung angewendet werden können.
Die in diesem Dokument beschriebenen Methoden sind ohne Einschränkungen auf Helium als Prüfgas anwendbar. Für andere Gase können zusätzliche Vorsichtsmaßnahmen notwendig sein.
Die hier beschriebenen Methoden sind auf allgemein erhältliche MSLD des heutigen Standes der Technik anwendbar, die Leckageraten bis herab zu 10−12 Pa·m3/s messen können.
Reģistrācijas numurs (WIID)
79206
Darbības sfēra
Dieses Dokument legt Begriffe und Verfahren für die Charakterisierung von massenspektrometrischen Leckdetektoren (MSLD) fest. Es soll kein kompletter Satz von Spezifikationen für einen Abnahmetest angegeben werden, sondern es werden Vorgehensweisen beschrieben, die ohne spezielle Kalibrierausrüstung angewendet werden können.
Die in diesem Dokument beschriebenen Methoden sind ohne Einschränkungen auf Helium als Prüfgas anwendbar. Für andere Gase können zusätzliche Vorsichtsmaßnahmen notwendig sein.
Die hier beschriebenen Methoden sind auf allgemein erhältliche MSLD des heutigen Standes der Technik anwendbar, die Leckageraten bis herab zu 10−12 Pa·m3/s messen können.
