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Dieses Dokument legt Begriffe und Verfahren für die Charakterisierung von massenspektrometrischen Leckde
tektoren (MSLD) fest. Dieses Dokument ist nicht dafür vorgesehen, einen kompletten Satz von Spezifikationen für einen Abnahmetest bereitzustellen, sondern es werden vielmehr Vorgehensweisen beschrieben, die ohne spezielle Kalibrierausrüstung angewendet werden können.
Die in diesem Dokument beschriebenen Verfahren sind ohne Einschränkungen auf Helium als Prüfgas anwend
bar. Für andere Gase könnten zusätzliche Vorsichtsmaßnahmen notwendig sein.
Die hier beschriebenen Verfahren sind auf allgemein erhältliche MSLD des heutigen Standes der Technik anwendbar, die Leckageraten bis herab zu 10−12Pa⋅m3/s messen können.
Reģistrācijas numurs (WIID)
79206
Darbības sfēra
Dieses Dokument legt Begriffe und Verfahren für die Charakterisierung von massenspektrometrischen Leckde
tektoren (MSLD) fest. Dieses Dokument ist nicht dafür vorgesehen, einen kompletten Satz von Spezifikationen für einen Abnahmetest bereitzustellen, sondern es werden vielmehr Vorgehensweisen beschrieben, die ohne spezielle Kalibrierausrüstung angewendet werden können.
Die in diesem Dokument beschriebenen Verfahren sind ohne Einschränkungen auf Helium als Prüfgas anwend
bar. Für andere Gase könnten zusätzliche Vorsichtsmaßnahmen notwendig sein.
Die hier beschriebenen Verfahren sind auf allgemein erhältliche MSLD des heutigen Standes der Technik anwendbar, die Leckageraten bis herab zu 10−12Pa⋅m3/s messen können.
