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Dieses Dokument beschreibt die typischen Beurteilungsprozesse zur Bestimmung der Bewertungsstufen für die chemische Luftreinheit (ACC) in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen hinsichtlich der luftgetragenen Konzentrationen spezifischer chemischer Substanzen (einzeln, gruppenweise oder als Kategorien) und stellt ein Protokoll zur Verfügung, um Prüfverfahren, Analyse und Zeitgewichtungsfaktoren in die Bestimmung einzuschließen. Dieses Dokument betrachtet ausschließlich Konzentrationen von luftgetragenen chemischen Kontaminanten zwischen 100 g/m3 und 10−12 g/m3 unter Reinraumbetriebsbedingungen.
Dieses Dokument ist nicht anwendbar bei solchen Industriezweigen, Prozessen oder Produktionen, bei denen oder bei der das Vorhandensein von luftgetragenen chemischen Substanzen nicht als Risiko für das Produkt oder den Prozess betrachtet wird.
Es ist nicht Ziel dieses Dokuments, die Beschaffenheit luftgetragener chemischer Kontaminanten zu beschreiben.
Dieses Dokument gibt keine Klassifizierung für chemische Oberflächenkontamination vor.
Reģistrācijas numurs (WIID)
73037
Darbības sfēra
Dieses Dokument beschreibt die typischen Beurteilungsprozesse zur Bestimmung der Bewertungsstufen für die chemische Luftreinheit (ACC) in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen hinsichtlich der luftgetragenen Konzentrationen spezifischer chemischer Substanzen (einzeln, gruppenweise oder als Kategorien) und stellt ein Protokoll zur Verfügung, um Prüfverfahren, Analyse und Zeitgewichtungsfaktoren in die Bestimmung einzuschließen. Dieses Dokument betrachtet ausschließlich Konzentrationen von luftgetragenen chemischen Kontaminanten zwischen 100 g/m3 und 10−12 g/m3 unter Reinraumbetriebsbedingungen.
Dieses Dokument ist nicht anwendbar bei solchen Industriezweigen, Prozessen oder Produktionen, bei denen oder bei der das Vorhandensein von luftgetragenen chemischen Substanzen nicht als Risiko für das Produkt oder den Prozess betrachtet wird.
Es ist nicht Ziel dieses Dokuments, die Beschaffenheit luftgetragener chemischer Kontaminanten zu beschreiben.
Dieses Dokument gibt keine Klassifizierung für chemische Oberflächenkontamination vor.
