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Dieses Dokument beschreibt die Einflussgrößen und Messgerätseigenschaften von konfokalen Mikroskopie-systemen zur flächenhaften Messung von Oberflächentopographien. Da Oberflächenprofile aus Oberflächen¬topographiebildern extrahierbar sind, können die Verfahren, die in diesem Dokument beschrieben werden, auch auf Profilmessungen angewendet werden.
Reģistrācijas numurs (WIID)
60591
Darbības sfēra
Dieses Dokument beschreibt die Einflussgrößen und Messgerätseigenschaften von konfokalen Mikroskopie-systemen zur flächenhaften Messung von Oberflächentopographien. Da Oberflächenprofile aus Oberflächen¬topographiebildern extrahierbar sind, können die Verfahren, die in diesem Dokument beschrieben werden, auch auf Profilmessungen angewendet werden.
