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Dieser Teil der ISO 25178 legt die messtechnischen Eigenschaften von Messgeräten der phasenschiebenden interferometrischen (PSI ) Mikroskopie zur Messung von Oberflächenprofilen und zur flächenhaften Messung der Oberflächenbeschaffenheit fest.
Reģistrācijas numurs (WIID)
30383
Darbības sfēra
Dieser Teil der ISO 25178 legt die messtechnischen Eigenschaften von Messgeräten der phasenschiebenden interferometrischen (PSI ) Mikroskopie zur Messung von Oberflächenprofilen und zur flächenhaften Messung der Oberflächenbeschaffenheit fest.