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Dieser Teil der ISO 25178 gilt für die messtechnischen Merkmale von Systemen der Weißlicht-Interferometrie (en: coherence scanning interferometry, CSI) für die dreidimensionale Abbildung von Oberflächenhöhen.
Reģistrācijas numurs (WIID)
31349
Darbības sfēra
Dieser Teil der ISO 25178 gilt für die messtechnischen Merkmale von Systemen der Weißlicht-Interferometrie (en: coherence scanning interferometry, CSI) für die dreidimensionale Abbildung von Oberflächenhöhen.
