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Dieses Dokument legt die Konstruktion und messtechnischen Merkmale von Weißlicht-Interferometrie-Geräten (CSI-Geräten) zur flächenhaften Messung von Oberflächentopographien fest. Da Oberflächenprofile aus Daten von Oberflächentopographien extrahiert werden können, sind die Methoden, die in diesem Dokument festgelegt sind, auch auf Profilmessungen anwendbar.
Reģistrācijas numurs (WIID)
76821
Darbības sfēra
Dieses Dokument legt die Konstruktion und messtechnischen Merkmale von Weißlicht-Interferometrie-Geräten (CSI-Geräten) zur flächenhaften Messung von Oberflächentopographien fest. Da Oberflächenprofile aus Daten von Oberflächentopographien extrahiert werden können, sind die Methoden, die in diesem Dokument festgelegt sind, auch auf Profilmessungen anwendbar.
