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Dieses Dokument legt die Konstruktion und messtechnischen Merkmale eines berührungslos messenden Geräts zur Messung der Oberflächentopographie fest, welches eine chromatisch konfokale Sonde verwendet, deren Funktion auf der axialen chromatischen Aberration von weißem Licht beruht. Zusätzliche messtechnische Merkmale können ISO 25178 600 entnommen werden. Da Oberflächenprofile aus Daten von Oberflächentopographien extrahiert werden können, sind die Verfahren, die in diesem Dokument beschrieben sind, auch auf Profilmessungen anwendbar.
Reģistrācijas numurs (WIID)
76819
Darbības sfēra
Dieses Dokument legt die Konstruktion und messtechnischen Merkmale eines berührungslos messenden Geräts zur Messung der Oberflächentopographie fest, welches eine chromatisch konfokale Sonde verwendet, deren Funktion auf der axialen chromatischen Aberration von weißem Licht beruht. Zusätzliche messtechnische Merkmale können ISO 25178 600 entnommen werden. Da Oberflächenprofile aus Daten von Oberflächentopographien extrahiert werden können, sind die Verfahren, die in diesem Dokument beschrieben sind, auch auf Profilmessungen anwendbar.