Standarta informācija
LVS EN 60204-33:2011
Mašīnu drošums. Mašīnu elektroaprīkojums. 33. daļa: Prasības pusvadītāju ražošanas iekārtām (IEC 60204-33:2009, modificēts)
Angliski
Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment
(IEC 60204-33:2009, modified)
Valodas: Angļu valoda
Veids: standarts
ICS grupas: 25.040.30 Rūpnieciskie roboti. Manipulatori, 29.020.00 Elektrotehnika. Vispārīgi, 13.110.00 Mašīnu drošums
Izstrādātājs: LVS/STK/000 Standartizācijas nodaļa, Latvijas standarts
Reģistrācijas datums: 28.07.2011.
Spēkā no: 28.07.2011.